半导体ST风囊泵

　　半导体风囊泵是一种专为半导体设备设计的高性能泵体，广泛应用于半导体制造过程中的气体输送、真空抽取、气体泄漏检测及气体净化等环节。以下是对半导体韩国ST风囊泵的详细介绍：

　　一、风囊泵工作原理

　　半导体风囊泵采用压缩空气作为动力源，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作。在工作过程中，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。这种设计使得风囊泵在输送过程中具有低脉动、低噪音和高效率的特点。

　　二、风囊泵产品特点

　　1、非金属泵体：ST风囊泵采用非金属材质(如聚四氟乙烯等)，无金属部件，避免了金属污染，适用于对纯度要求极高的半导体制造环境。

　　2、高耐腐蚀性：泵体材料具有优异的耐腐蚀性，能够抵抗多种强酸、强碱等腐蚀性介质的侵蚀。

　　3、耐高温性：能够在高温环境下稳定工作，满足半导体制造过程中可能遇到的高温工况需求。

　　4、低脉动、低噪音：独特的设计和工作原理使得风囊泵在输送过程中脉动小、噪音低，有利于保持生产环境的安静和稳定。

　　5、高效率：通过优化设计和精确控制，风囊泵能够实现高效率的气体输送和真空抽取。

　　三、风囊泵应用领域

　　1、真空抽取：在半导体设备的制造、加工和测试过程中，需要形成真空环境以避免氧气和其他杂质对半导体的污染或损坏。ST风囊泵能够用于将气体从半导体设备内部抽取出来，形成所需的真空环境。

　　2、气体输送：在半导体制造过程中，需要将气体从一个设备或系统中引出并输送到另一个设备或系统中。ST风囊泵能够高效地完成这一任务，确保气体输送的准确性和稳定性。

　　3、气体泄漏检测：半导体设备中需要对气体泄漏进行监测和检测。ST风囊泵可以用于抽取环境中的气体样本，并输送到气体检测仪器中进行分析和检测，以确认设备或系统的密封性能和安全性能。

　　4、气体净化：在半导体生产过程中，需要对气体进行净化处理以去除其中的杂质和污染物。ST风囊泵可以用于对气体进行过滤、吸附、冷凝等处理操作，提高气体的纯度和质量。

　　四、风囊泵产品型号与规格

　　半导体ST风囊泵有多种型号可供选择，如ST015、ST030、ST060、ST120和ST140等。不同型号的泵体具有不同的流量和性能参数，以满足不同应用场景下的需求。具体选择时需要根据实际工况和性能要求进行综合考虑。

　　综上所述，半导体ST风囊泵是一种高性能、高可靠性的泵体设备，在半导体制造过程中发挥着重要作用。通过合理选择和使用该设备，可以提高生产效率、降低生产成本并确保产品质量。